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製品案内



メタルダイアフラムコンプレッサ

メタルダイアフラムコンプレッサ
使用範囲
  • 流量範囲:0.001m3/h~500m3/h
  • 圧力範囲:0.1MPaG~300MPaG
  • 適用範囲:空気、強腐食性ガス、塩素、塩酸、フッ素、半導体用ガス(シラン、ヘリウム、窒素、水素)、放射性ガス等
構造

下図の様に、上部ヘッドプレートに取り付けられている吸込みバルブを通して、ガスは、ダイアフラムとの間に仕切られたチャンバーへと導入されます。下部ヘッドプレートとダイアフラムで仕切られチャンバーにある油がピストンにより昇圧されるとダイアフラムは上部チャンバーのガスを圧縮し、上部ヘッドプレートにある吐出バルブを介して吐出されます。

構造

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